随着科学技术的发展，扫描电子显微技术和X射线微区分析已成为检测物质性能的重要手段。我国目前已拥有相当数量的扫描电镜和能谱仪，今后将会有更多的单位装备这类先进仪器。用于金属、陶瓷、高分子、水泥、半导体、化工、矿产、纸张、食品等材料的显微形貌观察、相组织与晶体结构分析、微区化学成分检测等，对零部件的失效分析、纳米或复合新材料的表征，是不可替代的设备。电子显微分析应用队伍也在不断壮大，均需要有合适的参考书籍以深入了解扫描电镜和能谱仪的物理本质、工作原理、主要结构和实际应用。

本文包含了上述基本内容，另外，对近年来电子显微分析技术的新进展，如低电压操作、可变压力、环境扫描、电子背散射衍射、硅漂移探测器等，均做了详实的介绍。对于扫描电镜和能谱仪的应用和样品制备技术，根据实践经验提供切实可行的指导和建议。本书对于仪器使用、学生培养、科研工作上水平都是非常必要的。本文为适合不同专业和水平的读者使用，尽量减少繁琐的理论细节和数学推导，力求深入浅出地阐明问题，并结合多年的工作经验，

在扫描电镜和能谱仪应用方面提供行之有效的建议。本书不仅适合作为高校教材，而且对于工矿、企业和公司等用户也是一本技术性和实用性强的专业参考。