目前市场上提供的商品扫描电镜分为两类：场发射扫面掉进（FEG SEM）和常规扫描电镜（ConventionalSEM，简称（C SEM）。

场发射扫描电镜

场发射扫描电镜属于高分辨型电镜，使用场发射枪，如同也一个2000W特种电源，亮度高，可以照明样品各个部位的细节，电子束斑直径不小于1nm。能把样品1nm尺度的细节成像，可以真正实现低加速电压下工作。提供的高分辨率图像可以与同样放大倍率下的透射电镜图像进行对比。现代FEG SEM克服了早期电子源不稳定和使用麻烦的缺点，场发射电子枪参数一经设定后，全部由计算机控制，使用是只需要选定加速电压就可以操作，几十调10万倍图案，也是轻而易举的事情。为此电镜厂家在电子枪的选用、透镜像差校正、信号探测和高真空系统等方面进行了精心设计和制造，追求分辨率的提高，由此可见，分辨率值使反应电镜综合性能的唯一指标。FEG SEM目前已经大量应用于半导体、电脑、材料等领域。

常规扫描电镜

常规扫描电镜使用热电子枪，与场外发射枪相比，相当10W白炽灯，亮度有限，束斑直径较大。两种电镜分辨相差不大，但想要获得一张3NM分辨率的图像，不是任何一个人是可以实现的，这已经是目前的极限值。至于放大倍率可达到300kx，则没有任何实际意义，因为束斑直径明显大于该倍率下的像元值，分辨率受到束斑直径的限制，但是对于大量的常规检测，这种电镜因其价格便宜，适用性强，维护费用低而不可或缺

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